半導體用精密壓力調整器
半導體用精密壓力調整器(調壓閥)
型號:R25系列
入口圧力: 6.0MPa以下
調整圧力(注1): Max.0.99MPa
(レンジ仕様0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa)
元圧変動:入口圧力;0.1MPa當たり 調整圧力変化量0.00178MPa
耐圧圧力:22.2MPa(入口側)
Cv値: 0.12
使用溫度:-10℃~40℃
外部リークネジ込み仕様(P);1×10-9Pa?m3/s?He(真空法)
溶接仕様(W);1×10-11Pa?m3/s?He(真空法)
(但し、グレード“C”はN2ガスによる24時間封入テスト)
內部容積: 116.75px3(圧力計、継手部を除く)
質量約:0.96kg
取付方法:前面パネル取付用ナットまたは背面ネジによる取り付け
[注記]
(1)圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以內です。
(2)1MPa = 10 .2 kgf/cm2 = 144 .84 PSI = 7504 .36 mmHg = 295 .4 inHg
標準面間寸法:
NPT1 /4メス?本體面間寸法 ………………… 約48mm
1 /4”フェイス?シール継手面間寸法(オス) … 約82mm
1 /4”フェイス?シール継手面間寸法(メス) … 約99mm
1 /4”SUSパイプ継手面間寸法 ………………… 約111mm
產品資料下載:半導體用精密圧力調整器.pdf