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蘇州藤野自動化控制有限公司

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日本皇冠調壓閥
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半導體用精密壓力調整器

作者: 來源: 日期:2020-04-02 14:27:03 人氣:13

半導體用精密壓力調整器(調壓閥)

型號:R25系列

入口圧力 6.0MPa以下

調整圧力(注1) Max.0.99MPa

(レンジ仕様0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa)

元圧変動入口圧力;0.1MPa當たり 調整圧力変化量0.00178MPa

耐圧圧力22.2MPa(入口側)

Cv値 0.12

使用溫度10℃40℃

外部リークネジ込み仕様(P);1×10-9Pa?m3/s?He(真空法)

溶接仕様(W);1×10-11Pa?m3/s?He(真空法)

(但し、グレード“C”はN2ガスによる24時間封入テスト)

內部容積 116.75px3(圧力計、継手部を除く)

質量0.96kg

取付方法前面パネル取付用ナットまたは背面ネジによる取り付け

[注記]

1)圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以內です。

2)1MPa = 10 .2 kgf/cm2 = 144 .84 PSI = 7504 .36 mmHg = 295 .4 inHg

標準面間寸法

NPT1 /4メス?本體面間寸法 ………………… 約48mm

1 /4”フェイス?シール継手面間寸法(オス) … 約82mm

1 /4”フェイス?シール継手面間寸法(メス) … 約99mm

1 /4”SUSパイプ継手面間寸法 ………………… 約111mm

產品資料下載:半導體用精密圧力調整器.pdf


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